Robotoplossingen voor cleanrooms in de halfgeleiderproductie

De technologieën en robots van KUKA voor cleanrooms voldoen aan de strenge eisen inzake hygiëne, zuiverheid en functionaliteit in de halfgeleiderproductie. Maximale mobiliteit wordt optimaal gecombineerd met een hoge mate van precisie, ook bij korte cyclustijden.

Ontwikkeld voor de strenge eisen in de halfgeleiderindustrie: cleanroom en veiligheid hebben bij KUKA absolute prioriteit.

Speciaal voor cleanrooms biedt KUKA deeltjes- en emissiearme robots, cobots en platformen voor de productie en de veilige handling van extreem gevoelige micro-elektronica. De robots worden eveneens onder deze strenge cleanroomvoorwaarden geproduceerd.

In samenwerking met systeempartners levert KUKA toekomstgerichte Industrie 4.0-oplossingen voor de halfgeleiderindustrie, en komt dankzij perfect op elkaar afgestemde hardware en software tegemoet aan de eisen inzake netwerkmogelijkheden en een flexibele productie.

Robottechniek voor de halfgeleiderproductie

Robotsystemen voor cleanrooms

Robots voor cleanrooms en (mobiele) cobots met een hoge cleanroomclassificatie, bijv. dankzij inwendige en ingekapselde geleidingen en leidingen en ge?ntegreerde aandrijftechniek

?
Software voor mobiele applicaties

Intelligente, semi SECS-conforme softwarepakketten.
Engineering & customer service

Wij bieden individuele en applicatiespecifieke oplossingen die aan uw eisen tegemoetkomen.
Wereldwijde KUKA TechCenters met globale standaards

Klanten kunnen gebruik maken van de testlaboratoria van de KUKA TechCenters op verschillende locaties, waaronder China.

Cleanroom - van top tot teen: robots voor halfgeleiders en mobiele cobots van KUKA.

Nauwkeurige en snelle robots met een hoge cleanroomklasse: meer veiligheid door extra certificering door het Fraunhofer Instituut.

Reeds bij de ontwikkeling van onze robots wordt daarom rekening gehouden met cleanroomgerelateerde factoren. Onze standaard robots zijn dankzij de hoge ISO-klasse geschikt voor tal van cleanroomapplicaties.

Deze robots zijn voorzien van eenvoudig te reinigen speciale oppervlakken, speciale primers, afdichtingen en verfadwerkingen aan iedere as. De robots zijn standaard ESD-compliant en zijn door het Fraunhofer IPA op de geschiktheid voor cleanrooms getest.

Voor de productie van siliciumwafers zijn cleanroomomstandigheden van essentieel belang

Het Fraunhofer Instituut voor productietechniek en automatisering, kort IPA, behoort tot de wereldwijd toonaangevende instituten op het gebied van cleanroomproductie en contaminatiecontrole. Wij werken al meer dan 18 jaar nauw samen met KUKA. Enerzijds in het kader van de cleanroomcertificering Fraunhofer Tested Device® en CSM®, anderzijds bij het cleanroomgerichte design van robots.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Vind de voor cleanrooms geschikte robots voor uw taak:

LBR iiwa CR (draaglast 7-14 kg, cobot)

De gevoelige LBR iiwa is dankzij de positie- en tolerantieregeling bijzonder geschikt voor de?handing van sensibele substraten.

Safety Category 3 (certificaat)
Reikwijdte: 800 - 820 mm
ISO-klasse 3
7 assen
Besturing KUKA Sunrise Cabinet

Ervaar meer over de LBR iiwa.

KMR iiwa CR (draaglast robot 7-14 kg, draaglast platform 170 kg, mobiele cobot)

De KMR iiwa is geschikt voor het?uitrusten van procesmachines zonder bouwkundige maatregelen.

Autonome navigatie
Omnidirectioneel
Ge?ntegreerde SEMI-standaards
Fleetmanagement
Vrij schaalbaar en modulair systeem
Certificaat (PDF)

Ervaar meer over de KMR iiwa.

De mobiele en uitermate flexibele KMR iiwa biedt ideale voorwaarden voor de eisen die door Industrie 4.0 worden gesteld.

KR AGILUS CR (draaglast 6-10 kg)

De extreem snelle en nauwkeurige KR AGILUS in de cleanroomuitvoering is dé specialist voor tal van toepassingen, bijv. reticle/wafer testing.

Reikwijdte: 706,7 - 1101 mm
ISO-klasse 2
Ge?ntegreerde energietoevoer
Speciale besturing voor kleine robots KR C5 micro
?Certificaat (PDF)

Ervaar meer over de KR AGILUS.

KR CYBERTECH CR (draaglast 20 kg)

De KR CYBERTECH is dankzij het rustige en filigrane rijgedrag bij uitstek geschikt voor de?handling van apparatuur voor semiconductors

Reikwijdte: 1810 mm
ISO-klasse: 5
Slank design - ruimtebesparend celconcept
Robotbesturing KR C5
Certificaat (PDF)

Ervaar meer over de KR CYBERTECH.

Mobiele cobots voor cleanrooms: veilige handling van gevoelige onderdelen.

Voor de industriële productie van morgen zijn intelligent gekoppelde, modulaire, veelzijdige én mobiele productie- en logistiekconcepten onmisbaar. Mobiele cleanroomcobots (KMR iiwa) garanderen een veilig transport en een veilige handling van gevoelige onderdelen (wafers, maskers, carriers) van het ene proces naar het andere. De cobots navigeren onafhankelijk en zonder beschermend hek in alle richtingen.

E-book: Next level automatisering met robots voor cleanrooms van KUKA

Lees meer over de toekomst van de halfgeleiderproductie in het gratis e-book?

Download PDF

Individuele oplossing gewenst?

Op basis van onze competentie en ervaring op het gebied van lassen geven we u graag advies. Samen met u vinden we de perfecte oplossing voor uw individuele lastoepassingen.

Neem gerust contact met ons op

Cases uit de elektronica industrie

Ontdek meer over de voordelen van KUKA robots in de halfgeleiderindustrie in onze case studies, of snuffel rond in onze solution database voor de elektronische industrie.

Geautomatiseerde waferproductie in cleanrooms

De conform ISO3 gecertificeerde robots voor cleanrooms zorgen voor een veilige samenwerking en een veilige handling van wafers met een maximale precisie bij Infineon.?

Mobiele cobot voor de halfgeleiderproductie

De KUKA Wafer Handling Solution is een mobiele robotoplossing (Semi Mobility) die een geautomatiseerd transport van materiaal in de halfgeleiderproductie mogelijk maakt.

Op zoek naar een automatiseringspartner?

Maak gebruik van ons wereldwijde netwerk met partners in de elektronische industrie?

Vind een partner bij u in de buurt

Robotoplossingen voor cleanrooms in de halfgeleiderproductie

Ontwikkeld voor de strenge eisen in de halfgeleiderindustrie: cleanroom en veiligheid hebben bij KUKA absolute prioriteit.

Robottechniek voor de halfgeleiderproductie

Robotsystemen voor cleanrooms

Software voor mobiele applicaties

Engineering & customer service

Wereldwijde KUKA TechCenters met globale standaards

Cleanroom - van top tot teen: robots voor halfgeleiders en mobiele cobots van KUKA.

Nauwkeurige en snelle robots met een hoge cleanroomklasse: meer veiligheid door extra certificering door het Fraunhofer Instituut.