Reinraumroboter-Lösungen für die Halbleiterfertigung

KUKA Technologien und Roboter für den Reinraum erfüllen die hohen Anforderungen an Reinheit, Sauberkeit und Funktionalität in der Halbleiterproduktion. Sie vereinen extreme Beweglichkeit, erstklassige Qualität und höchste Präzision auch in kürzester Zeit.

Konzipiert für die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie: Reinraum und Sicherheit sind bei KUKA gro? geschrieben.

Speziell zu dem Thema Reinraum bietet KUKA partikel- und emissionsarme Roboter, Cobots und Plattformen für die Herstellung und das sichere Handling von hochsensibler Mikroelektronik wie Wafern. Auch unsere eigene Produktion erfolgt unter diesen strengen Reinraum-Bedingungen und erfüllen h?chste Qualit?t.

Zusammen mit Systempartnern liefert KUKA zukunftsf?hige Industrie 4.0-L?sungen für die Halbleiterindustrie unter den Ansprüchen der Vernetzbarkeit und Fertigungsflexibilisierung durch perfekt abgestimmte Hardware und Software.

Robotertechnik für die Halbleiter-Produktion aus einer Hand

Reinraum-Robotik

Reinraumroboter und (mobile) Cobots mit gro?er Reinraumklassifizierung z.B. dank innenliegenden, gekapselten Führungen und Leitungen sowie integrierter Antriebstechnik
Software für Mobile Applikationen

Intelligente, Semi SECS-konforme Software-Pakete.
Engineering & Customer Service

Wir bieten individuelle, applikationsspezifische L?sungen und weitere Informationen für Ihre Anforderungen.
Weltweite KUKA TechCenter mit globalen Standards

An verschiedenen Standorten u.a. in China stehen KUKA TechCenter als Testlabore für Kunden bereit.

Von Kopf bis Fu? auf Reinraum eingestellt: Roboter für Halbleiter und mobile Cobots von KUKA.

Pr?zise und schnelle Roboter mit gro?er Reinraumklasse: Mehr Sicherheit durch zus?tzliche Zertifizierung vom Fraunhofer-Institut.

Bereits bei der Entwicklung unserer Roboter flie?en reinraum-relevante Kriterien mit ein. So sind bereits unsere Standard-Roboter mit hoher ISO-Klasse für viele Reinraum-Applikationen geeignet.

Sie haben leicht zu reinigende Spezialoberfl?chen sowie spezielle Grundierungen, Dichtungen, und Lackierungen in jeder Achse. Sie sind standardm??ig ESD-tauglich und vom Fraunhofer IPA auf ihre Reinraumtauglichkeit geprüft.

Reinräume sind für die Silicium-Wafer-Platten Herstellung essentiell

Das Fraunhofer IPA gehört zu den weltweit führenden Instituten im Bereich Reinstproduktion und Kontaminationskontrolle. Seit über 18 Jahren arbeiten wir eng mit KUKA zusammen. Zum einen im Rahmen der Reinraumzertifizierung Fraunhofer Tested Device® und CSM®, und zum anderen bei der reinheitstechnischen Gestaltung von Robotern.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Finden Sie die reinraumtaugliche Kinematik passend für Ihre Aufgabe:

LBR iiwa CR (7-14 kg Traglast, Cobot)

Der sensitive LBR iiwa eigent sich besonders für das Handhaben von sensiblen Substraten durch Positions- und Nachgiebigkeitsregelung.

Safety Category 3 (Zertifikat)
Reichweite: 800 - 820 mm
ISO Klasse 3
7 Achsen
Steuerung KUKA Sunrise Cabinet

Erfahren Sie mehr über den LBR iiwa.

KMR iiwa CR (7-14 kg Traglast Roboter, 170 kg Traglast Plattform, Mobile Cobot)

Der KMR iiwa eignet sich für das Bestücken von Prozessmaschinen ohne bauliche Ma?nahmen.

Autonome Navigation
Omnidirektional
Integrierte Semistandards
Fleetmanagement
Frei skalierbares, modulares System
Roboter entspricht ISO 14644-1 (PDF)

Erfahren Sie mehr über den KMR iiwa.

Das Wafer-Handling-Modul erm?glicht es KUKA Partnern und Endkunden den Materialfluss innerhalb der Wafer-Farbs einfach zu automatisieren

KR AGILUS CR (6-10 kg Traglast) Zertifiziert nach DIN EN ISO 14644

Der extrem schnelle und präzise KR AGILUS in Cleanroom Ausführung ist Spezialist für viele Anwendungen, z.B. Reticle /Wafer Testing.

Reichweite: 706,7 - 1101 mm
ISO Klasse 2
Integrierte Energiezuführung
Spezielle Kleinrobotiksteuerung KR C5 micro
Zertifiziert nach DIN EN ISO 14644 (PDF)

Erfahren Sie mehr über den KR AGILUS.

KR CYBERTECH CR (20 kg Traglast)

Der KR CYBERTECH ist dank seines ruhigen und filigranen Fahrverhaltens prädestiniert für das Handling von Semiconductor-Equipment

Reichweite: 1810 mm
ISO Klasse: 5
Schlankes Design – platzsparendes Zellenkonzept
Robotersteuerung KR C5
Zertifikat nach Standard EN ISO 14644 (PDF)

Erfahren Sie mehr über den KR CYBERTECH.

Mobile Cobots für Reinr?ume: Sicheres Handling von sensiblen Bauteilen wie Wafern.

Die industrielle Fertigung von morgen benötigt intelligent vernetzte, modulare, vielseitige und damit auch mobile Produktions- und Logistikkonzepte.
Mobile Reinraum-Cobots (KMR iiwa) garantieren den sicheren Transport und die sichere Handhabung der sensiblen Bauteile (Wafer, Masken, Carrier) von einem Prozess zum nächsten. Sie navigieren autonom und ohne Schutzzaun in alle Richtungen.

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Individuelle L?sung gewünscht?

Mit unserer Kompetenz und Erfahrung beraten wir Sie gerne und finden mit Ihnen die perfekte L?sung für Ihre individuellen Anforderungen.

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Fallbeispiele aus der Elektronikindustrie

Lesen Sie in unseren Case Studies mehr über die Vorteile von KUKA Robotik für die Halbleiterindustrie oder stöbern Sie in unserer Lösungsdatenbank zur Elektronikbranche.

Automatisierte Herstellung von Wafern im Reinraum

Die ISO3-zertifizierte Reinraum-Roboter sorgen für gefahrloses Miteinander und sicheres Handhaben von Wafern mit h?chster Pr?zision bei Infineon.

Mobile Cobot für die Halbleiterproduktion

Die KUKA Wafer Handling Solution ist eine mobile Roboterl?sung (Semi Mobility), welche einen automatisierten Materialtransport in der Halbleiterfertigung erm?glicht.

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Pr?zise und schnelle Roboter mit gro?er Reinraumklasse: Mehr Sicherheit durch zus?tzliche Zertifizierung vom Fraunhofer-Institut.

Finden Sie die reinraumtaugliche Kinematik passend für Ihre Aufgabe:

LBR iiwa CR (7-14 kg Traglast, Cobot)

KMR iiwa CR (7-14 kg Traglast Roboter, 170 kg Traglast Plattform, Mobile Cobot)

KR AGILUS CR (6-10 kg Traglast) Zertifiziert nach DIN EN ISO 14644

KR CYBERTECH CR (20 kg Traglast)

Mobile Cobots für Reinr?ume: Sicheres Handling von sensiblen Bauteilen wie Wafern.

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LBR iiwa

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LBR iiwa CR (7-14 kg Traglast, Cobot)

KMR iiwa CR (7-14 kg Traglast Roboter, 170 kg Traglast Plattform, Mobile Cobot)

KR AGILUS CR (6-10 kg Traglast) Zertifiziert nach DIN EN ISO 14644

KR CYBERTECH CR (20 kg Traglast)

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Produktivitätssteigerung für die Halbleiterfertigung

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