半導(dǎo)體製造用クリーンルームロボット

クリーンルーム向けのKUKAの技術(shù)とロボットは、短いサイクルタイムでも究極の可動性と最高精度を両立。半導(dǎo)體製造における純度、クリーン度、機(jī)能性に対する高い要求を満たします。

クリーンルームと安全を重視し、厳しい要件に対応

KUKAはクリーンルーム専用に、高感度マイクロエレクトロニクスの製造と安全な取扱いを可能にする低粒子で低排出ガスのロボット、コボット（協(xié)働ロボット）、プラットフォームを提供。自社の製造もこの厳しい條件の下で行っています。

システムパートナーと共に、ネットワーク機(jī)能と製造の柔軟性の要求を満たすハードウェアとソフトウェアを準(zhǔn)備し、半導(dǎo)體業(yè)界向けに將來性の高いインダストリー4.0ソリューションを提供します。

半導(dǎo)體製造用ロボット技術(shù)

クリーンルームロボット

カプセル化された內(nèi)蔵ガイドメカニズムとケーブル、統(tǒng)合型駆動技術(shù)による高クリーンルーム分類のクリーンルームロボットと (移動式) コボット
モバイルアプリケーション用ソフトウェア

インテリジェントな、SECS適合ソフトウェアパッケージ
エンジニアリング&カスタマーサービス

要件に合わせてカスタマイズした、用途別のソリューション提供
グローバル基準(zhǔn)を有する世界中のKUKA TechCenter

中國を含む世界中にテストラボとして設(shè)置されているKUKA TechCentres。

KUKAの半導(dǎo)體用ロボットと移動式コボット
頭から足先までクリーンルーム仕様

フラウンホーファー研究所の認(rèn)証取得によりさらに安全性向上
高クリーンルーム級の高精度でスピーディーなロボット

ロボットの開発時にはクリーンルーム関連の基準(zhǔn)が考慮されるため、KUKAの標(biāo)準(zhǔn)ロボットはISO基準(zhǔn)適合でクリーンルーム用途にも適しています。

洗浄しやすい表面に加え、各軸に特殊なプライマーコーティング、シール、塗裝仕上げが施されています。標(biāo)準(zhǔn)でESDに適合しており、フラウンホーファー生産技術(shù)?オートメーション研究所 (IPA) によってクリーンルーム適合性が試験されています。

フラウンホーファー研究所は、ウルトラクリーン製造とコンタミネーションコントロールの分野で世界をリードする研究機(jī)関です。KUKAとは18年以上にわたり密接に共同研究を行っています。まずはフラウンホーファー検査済デバイス®とCSM®クリーンルーム認(rèn)定関連、そしてクリーン度要件を満たすロボット設(shè)計の観點(diǎn)から説明します。

フラウンホーファーIPA　フランク?ビュルガー博士

タスクに合ったクリーンルーム適合システムを探す

LBR iiwa CR (可搬重量7～14 kgのコボット)

高感度LBR iiwaは、特にポジションおよびコンプライアンス制御による高感度基板のハンドリングに適合されています。

安全性カテゴリー3 (認(rèn)定証)
リーチ: 800～820 mm
ISO等級3
7軸
KUKA Sunrise Cabinetコントローラ

LBR iiwaについての詳細(xì)はこちらをご覧ください。

KMR iiwa CR (可搬重量7～14 kgのロボット、可搬重量170 kgのプラットフォーム、移動式コボット)

KMR iiwaは、構(gòu)造的措置なしでの成形裝置の裝備に適合しています。

自動ナビゲーション
全方位
統(tǒng)合型準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
フリートマネージメント
拡張自在なモジュールシステム
認(rèn)定証 (PDF)

KMR iiwaについての詳細(xì)はこちらをご覧ください。

場所を問わない、非常にフレキシブルなKMR iiwaは、インダストリー4.0の要件に合った理想的な條件を提供します。

KR AGILUS CR (可搬重量6～10 kg)

極めて迅速かつ高精度のクリーンルーム仕様KR AGILUSは、例えばレチクル/ウェーハテストといった多くの用途に合った専用機(jī)です。

リーチ: 706.7～1101 mm
ISO等級2
エナジーサプライシステム內(nèi)蔵
専用スモールロボティクスコントロール KR C5 micro
?認(rèn)定証 (PDF)

KR AGILUSについての詳細(xì)はこちらをご覧ください。

KR CYBERTECH CR (可搬重量20 kg)

KR CYBERTECHは、靜かで繊細(xì)な作動方式により、半導(dǎo)體機(jī)器のハンドリング専用です

リーチ: 1810 mm
ISO等級： 5
スマートなデザイン – 省スペース型のセルコンセプト
ロボットコントローラー KR C5
認(rèn)定証 (PDF)

KR CYBERTECHの詳細(xì)はこちらをご覧ください。

精密部品を安全に取り扱うクリーンルーム用移動式コボット

明日の工業(yè)生産に求められるのは、インテリジェントなネットワーク化、モジュール化、多用化された移動式の製造と物流コンセプトです。移動式クリーンルーム用コボット(KMR iiwa)は、工程から工程へ精密部品（ウェハー、マスク、キャリア）を安全に搬送。安全柵なしで自律的にあらゆる方向に移動が可能です。