Lösningar med renrumsrobotar för tillverkning av halvledarkomponenter

KUKA:s tekniska lösningar och robotar för renrumstillämpningar uppfyller halvledarindustrins höga krav på renhet, renlighet och funktion. De utmärker sig med sin mycket goda rörlighet och maximala precision i kombination med korta cykeltider.

Utrustning som uppfyller halvledarindustrins h?ga krav: Renrum och s?kerhet – tv? huvudsp?r i KUKA:s verksamhet.

Exempel p? renrumsprodukter fr?n KUKA: partikel- och emissionssn?la robotar, cobotar samt plattformar f?r tillverkning och s?ker hantering av mycket k?nslig mikroelektronik.?Vi har ?ven konfigurerat v?ra egna produktionsanl?ggningar s? att de uppfyller samma str?nga renrumskrav.

KUKA levererar tillsammans med sina systempartner framtidss?krade?Industrie 4.0-l?sningar till halvledarindustrin – med perfekt anpassad och uppkopplingsbar h?rd- och programvara f?r maximal flexibilitet i produktionen.

Robotteknik f?r tillverkning av halvledarkomponenter fr?n en och samma leverant?r

Renrumsrobotar

Renrumsrobotar och (mobila) cobotar med h?g renrumsklassificering, t.ex. tack vare inv?ndiga, inkapslade styrningar och ledningar samt inbyggd drivningsteknik

?
Programvara för mobila tillämpningar

Intelligenta, semi-SECS-konforma programvarupaket.
Teknisk projektutveckling och kundsupport

Vi erbjuder skr?ddarsydda applikationsspecifika l?sningar som uppfyller dina krav.
KUKA:s globala TechCenter med globala standarder

Som kund drar du nytta av KUKA TechCenters testlaboratorier, som också finns i Kina.

N?r renrum finns med redan p? ritbordet: KUKA erbjuder b?de robotar f?r tillverkning av halvledarkomponenter och mobila cobotar.

Noggranna, snabba robotar med h?g renrumsklass: Extra h?g s?kerhet tack vare certifiering av Fraunhofer-Institut.

Redan p? ritbordet tar vi h?nsyn till renrumsrelevanta kriterier n?r vi utvecklar v?ra robotar. Ta t.ex. v?ra standardrobotar med h?g ISO-klass, som i grundutf?rande l?mpar sig f?r en l?ng rad renrumstill?mpningar.

?De har l?ttrengjorda specialytor och speciella grunderingar, t?tningar och lackeringar p? varje axel. De ?r som standard ESD-s?kra och har kontrollerats av Fraunhofer IPA r?rande deras l?mplighet f?r renrumsmilj?er.

Kiselplattor kan endast tillverkas i renrum

Fraunhofer IPA är ett av världens ledande institut inom ren produktion och kontaminationskontroller. Sedan mer än 18 år har vi ett tätt samarbete med KUKA. Dels inom ramen för vår renrumscertifiering Fraunhofer Tested Device® och CSM®, men även vid den renhetstekniska utformningen av företagets robotar.

Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA

Hitta en renrumscertifierad kinematik som uppfyller dina krav.?

LBR iiwa CR (b?rlast 7?-?14 kg, cobot)

V?r avk?nnande robot LBR iiwa l?mpar sig s?rskilt v?l f?r? hantering av k?nsliga substrat tack vare robotens positions- och eftergivlighetsreglering.

Safety Category 3 (certifikat)
R?ckvidd: 800?-?820 mm
ISO-klass 3
7 axlar
Styrning KUKA Sunrise Cabinet

H?r kan du l?sa mer om LBR iiwa.

KMR iiwa CR (robotens b?rlast 7?-?14 kg, plattformens b?rlast 170 kg, mobil cobot)

KMR iiwa kan betj?na processmaskiner utan att driftsmilj?n beh?ver byggas om.

Autonom navigering
Omniriktad
Integrerade semistandarder
Flotthanterare
Fritt skalbart, moduluppbyggt system
Certifikat (PDF)

H?r kan du l?sa mer om KMR iiwa.

V?r platsoberoende plattform KMR iiwa erbjuder maximal flexibilitet och ?r redo att anta utmaningarna i framtidens Industrie 4.0-milj?er.

KR AGILUS CR (b?rlast 6?-?10 kg)

V?r extremt snabba och positionsexakta robot KR AGILUS i renrumsutf?rande ?r en robot som ?r specialiserad f?r m?nga till?mpningar, t.ex. Reticle/Wafer Testing.

R?ckvidd: 706,7?-?1101 mm
ISO-klass 2
Integrerad energif?rs?rjning
V?ra s?rskilda robotstyrningar f?r sm?robotar: KR C5 micro
?Certifikat (PDF)

H?r kan du l?sa mer om KR AGILUS.

KR CYBERTECH CR (b?rlast 20 kg)

KR CYBERTECH ?r tack vare sina metodiska och positionsexakta r?relser som gjord f?r att?hantera halvledarutrustning

R?ckvidd: 1810 mm
ISO-klass: 5
Str?mlinjeformad design – platsbesparande cellkoncept
Robotstyrning KR C5
Certifikat (PDF)

H?r kan du l?sa mer om KR CYBERTECH.

Mobila cobotar f?r renrum: S?ker hantering av k?nsliga komponenter.

I framtidens industriella produktion behövs intelligent uppkopplade, moduluppbyggda och mångsidiga och därmed även mobila produktions- och logistikkoncept. Mobila renrumscobotar (KMR iiwa) är en garant för säker transport och hantering av känsliga komponenter (kiselplattor, masker, hållare) från en process till nästa. De navigerar autonomt i alla riktningar och behöver inga skydsstängsel.

E-bok: Next Level-automation med KUKA:s robotteknik för renrum

I v?r e-bok som ?r gratis kan du l?sa mer om hur halvledarkomponenter kommer att tillverkas i framtiden?

Ladda ned PDF

Beh?ver du en skr?ddarsydd l?sning?

Du ?r v?lkommen att kontakta oss f?r r?dgivning. V?r kompetens och l?nga erfarenhet av svetsning g?r att vi snabbt kan hitta r?tt svetsl?sning och svetsutrustning f?r just dina krav.

Kontakta oss

Fallstudier fr?n elektronikindustrin

I v?ra fallstudier kan du l?sa mer om vilka f?rdelar KUKA:s robotteknik erbjuder halvledarindustrin, eller s? kan du studera v?r databas med l?sningar till elektronikindustrin.

Automatiserad tillverkning av kiselplattor i renrum

Hos Infineon s?kerst?ller v?ra ISO3-certifierade renrumsrobotar ett riskfritt arbete d?r m?nniskor och robotar arbetar sida vid sida, liksom en s?ker och noggrann hantering av kiselplattor.?

Mobila cobotar f?r tillverkning av halvledarkomponenter

KUKA Wafer Handling Solution ?r en mobil robotl?sning (Semi Mobility) som m?jligg?r automatiserad materialtransport inom halvledarindustrin.

?r du p? jakt efter tillf?rlitliga partner till ett automationsprojekt?

Dra nytta av v?rt globala partnern?tverk inom elektronikbranschen?

Hitta en samarbetspartner i din n?rhet

Lösningar med renrumsrobotar för tillverkning av halvledarkomponenter

Utrustning som uppfyller halvledarindustrins h?ga krav: Renrum och s?kerhet – tv? huvudsp?r i KUKA:s verksamhet.

Robotteknik f?r tillverkning av halvledarkomponenter fr?n en och samma leverant?r

Renrumsrobotar

Programvara för mobila tillämpningar

Teknisk projektutveckling och kundsupport

KUKA:s globala TechCenter med globala standarder

N?r renrum finns med redan p? ritbordet: KUKA erbjuder b?de robotar f?r tillverkning av halvledarkomponenter och mobila cobotar.

Noggranna, snabba robotar med h?g renrumsklass: Extra h?g s?kerhet tack vare certifiering av Fraunhofer-Institut.