為半導體行業的嚴苛要求而設計：凈室與安全性在 KUKA 極受重視。
針對凈室，KUKA 專門提供了微粒少和排放低的機器人、協作機器人和平臺，用于生產和安全地搬運高敏感的微電子元件。我們自己的生產也要在嚴苛的凈室條件下完成。
KUKA 與系統合作伙伴一起，為半導體行業提供面向未來的工業 4.0 解決方案，通過協調軟件和硬件滿足聯網與生產靈活性的要求。
適用于半導體制造的凈室機器人解決方案
適用于凈室的 KUKA 技術和機器人符合半導體生產中對于純凈、清潔和功能的高要求。它們即便在非常短的周期時間內也能兼具高移動性與高精確度。
由同一家公司提供適用于半導體生產的機器人技術
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凈室機器人技術
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用于移動應用的軟件
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工程設計與客戶服務
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符合全球標準的 KUKA TechCenter（技術中心）遍布世界各地
全面投入到凈室：KUKA 半導體機器人和移動協作機器人。
精準而敏捷的機器人符合高凈室等級：經弗勞恩霍夫研究所特別認證更為安全。
在開發機器人的時候我們就考慮到了凈室相關標準。因此我們的標準機器人就已經滿足高 ISO 等級，適用于許多凈室應用。
?它們的每一個軸都采用了易于清潔的特殊表面以及專用底漆、密封件和涂層。它們符合 ESD 標準，并由弗勞恩霍夫研究所 IPA 進行了凈室適用性檢驗。
弗勞恩霍夫研究所 IPA 是潔凈生產和污染控制領域的世界級的杰出機構。18 年來我們與 KUKA 緊密合作。一方面是弗勞恩霍夫研究所 Tested Device® 和 CSM® 認證工作，另一方面是對機器人的潔凈技術方面的設計。
發現適合您的任務的符合凈室要求的運動系統：?
LBR iiwa CR（負載能力 7-14 kg，協作機器人）
靈敏的 LBR iiwa 因其位置和柔韌性調節裝置而特別適合搬運敏感的基板。
- 安全等級 3（證書）
- 作用范圍：800 - 820 mm
- ISO 3 級
- 7 軸
- 控制系統 KUKA Sunrise Cabinet
KMR iiwa CR（負載能力 7-14 kg 機器人，負載能力 170 kg 平臺，移動協作機器人）
KR AGILUS CR（負載能力 6-10 kg）
凈室規格的 KR AGILUS 極其迅速且精確，是適合多種應用的“專家”，例如用于標線或晶片測試。
- 作用范圍：706.7 - 1101 mm
- ISO 2 級
- 集成式拖鏈系統
- 專用的小型機器人控制器 KR C5 micro
- ?證書 (PDF)
KR CYBERTECH CR（負載能力 20 kg）
KR CYBERTECH 的鎮定而精細的行駛特性注定其就是為搬運半導體設備而生
適用于凈室的移動協作機器人：安全地搬運敏感部件。
未來的工業生產需要的是智能化、聯網化、模塊化、豐富多樣、尤其是移動式的生產和物流方案。移動凈室協作機器人 (KMR iiwa) 確保在工藝流程之間安全地運輸和搬運敏感部件（晶片、掩膜、載體）。它們在任意方向自主導航，并且無需護欄。
來自電子工業的案例
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