適用于半導(dǎo)體制造的凈室機器人解決方案

適用于凈室的 KUKA 技術(shù)和機器人符合半導(dǎo)體生產(chǎn)中對于純凈、清潔和功能的高要求。它們即便在非常短的周期時間內(nèi)也能兼具高移動性與高精確度。

為半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)苛要求而設(shè)計：凈室與安全性在 KUKA 極受重視。

針對凈室，KUKA 專門提供了微粒少和排放低的機器人、協(xié)作機器人和平臺，用于生產(chǎn)和安全地搬運高敏感的微電子元件。我們自己的生產(chǎn)也要在嚴(yán)苛的凈室條件下完成。

KUKA 與系統(tǒng)合作伙伴一起，為半導(dǎo)體行業(yè)提供面向未來的工業(yè) 4.0 解決方案，通過協(xié)調(diào)軟件和硬件滿足聯(lián)網(wǎng)與生產(chǎn)靈活性的要求。

由同一家公司提供適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的機器人技術(shù)

凈室機器人技術(shù)

達(dá)到高凈室等級的凈室機器人與（移動）協(xié)作機器人，例如借助內(nèi)置封閉的導(dǎo)向裝置和管線，以及集成的驅(qū)動技術(shù)

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用于移動應(yīng)用的軟件

符合國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會 (SEMI) SECS 標(biāo)準(zhǔn)的智能軟件包。
工程設(shè)計與客戶服務(wù)

我們針對您的要求提供符合應(yīng)用需求的個性化解決方案。
符合全球標(biāo)準(zhǔn)的 KUKA TechCenter（技術(shù)中心）遍布世界各地

在包括中國在內(nèi)的各個生產(chǎn)基地，KUKA TechCenter(技術(shù)中心)均可作為測試實驗室供客戶使用。

全面投入到凈室：KUKA 半導(dǎo)體機器人和移動協(xié)作機器人。

精準(zhǔn)而敏捷的機器人符合高凈室等級：經(jīng)弗勞恩霍夫研究所特別認(rèn)證更為安全。

在開發(fā)機器人的時候我們就考慮到了凈室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。因此我們的標(biāo)準(zhǔn)機器人就已經(jīng)滿足高 ISO 等級，適用于許多凈室應(yīng)用。

?它們的每一個軸都采用了易于清潔的特殊表面以及專用底漆、密封件和涂層。它們符合 ESD 標(biāo)準(zhǔn)，并由弗勞恩霍夫研究所 IPA 進(jìn)行了凈室適用性檢驗。

弗勞恩霍夫研究所 IPA 是潔凈生產(chǎn)和污染控制領(lǐng)域的世界級的杰出機構(gòu)。18 年來我們與 KUKA 緊密合作。一方面是弗勞恩霍夫研究所 Tested Device® 和 CSM® 認(rèn)證工作，另一方面是對機器人的潔凈技術(shù)方面的設(shè)計。

Frank Bürger 博士，弗勞恩霍夫研究所 IPA

發(fā)現(xiàn)適合您的任務(wù)的符合凈室要求的運動系統(tǒng)：?

LBR iiwa CR（負(fù)載能力 7-14 kg，協(xié)作機器人）

靈敏的 LBR iiwa 因其位置和柔韌性調(diào)節(jié)裝置而特別適合搬運敏感的基板。

安全等級 3（證書）
作用范圍：800 - 820 mm
ISO 3 級
7 軸
控制系統(tǒng) KUKA Sunrise Cabinet

歡迎了解更多有關(guān) LBR iiwa 的信息。

KMR iiwa CR（負(fù)載能力 7-14 kg 機器人，負(fù)載能力 170 kg 平臺，移動協(xié)作機器人）

KMR iiwa 適于裝載工藝設(shè)備，且無需采取結(jié)構(gòu)措施。

自主導(dǎo)航
全向
內(nèi)置半標(biāo)準(zhǔn)
車隊管理系統(tǒng)
可自由擴展的模塊化系統(tǒng)
證書 (PDF)

歡迎了解更多有關(guān) KMR iiwa 的信息。

不受地點限制、高度靈活的 KMR iiwa 為滿足工業(yè) 4.0 的要求創(chuàng)造了理想條件。

KR AGILUS CR（負(fù)載能力 6-10 kg）

凈室規(guī)格的 KR AGILUS 極其迅速且精確，是適合多種應(yīng)用的“專家”，例如用于標(biāo)線或晶片測試。

作用范圍：706.7 - 1101 mm
ISO 2 級
集成式拖鏈系統(tǒng)
專用的小型機器人控制器 KR C5 micro
?證書 (PDF)

歡迎了解更多有關(guān) KR AGILUS 的信息。

KR CYBERTECH CR（負(fù)載能力 20 kg）

KR CYBERTECH 的鎮(zhèn)定而精細(xì)的行駛特性注定其就是為搬運半導(dǎo)體設(shè)備而生

作用范圍： 1810 mm
ISO 等級： 5
修長的設(shè)計——節(jié)省空間的工作單元設(shè)計
機器人控制器 KR C5
證書 (PDF)

歡迎了解更多有關(guān) KR CYBERTECH 的信息。

適用于凈室的移動協(xié)作機器人：安全地搬運敏感部件。

未來的工業(yè)生產(chǎn)需要的是智能化、聯(lián)網(wǎng)化、模塊化、豐富多樣、尤其是移動式的生產(chǎn)和物流方案。移動凈室協(xié)作機器人 (KMR iiwa) 確保在工藝流程之間安全地運輸和搬運敏感部件（晶片、掩膜、載體）。它們在任意方向自主導(dǎo)航，并且無需護(hù)欄。