KUKA 開發(fā)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的移動機器人

半導(dǎo)體的生產(chǎn)非常復(fù)雜。在此之前，還未出現(xiàn)過可以將工件從一道工序運送到下一道工序的移動式半導(dǎo)體自動化生產(chǎn)方式。現(xiàn)在，有了 KUKA 晶片搬運解決方案，一切都將發(fā)生改變。

2019年8月13日

半導(dǎo)體隨處可見

微型智能計算機芯片，即所謂的半導(dǎo)體，如今在日常生活中隨處可見：不管是在智能手機、平板電腦還是汽車中。在汽車行業(yè)的大趨勢下，該組件至關(guān)重要。生產(chǎn)半導(dǎo)體時是以晶片形式加工化學(xué)元素硅。在生產(chǎn)過程中，將晶片在凈室條件下存放在專用的塑料盒內(nèi)，并分多道工序進行處理。隨著對半導(dǎo)體需求的不斷增長，制造商也希望進一步實現(xiàn)生產(chǎn)過程的自動化。

自動化搬運晶片：KUKA 晶片搬運解決方案

KUKA 研發(fā)的 KUKA 晶片搬運解決方案是世界上首個可用于自動運輸和搬運半導(dǎo)體盒的一站式解決方案。該應(yīng)用由一臺標準化的自動導(dǎo)引運輸車 (AGV) 和經(jīng)過實踐檢驗的?LBR iiwa 輕型機器人組成。為此開發(fā)了一套精密的抓手系統(tǒng)。軟件也由 KUKA 提供。

適用于半導(dǎo)體工業(yè)凈室環(huán)境下的機器人解決方案

KMR 200 CR 移動平臺確保移動性。該平臺的麥克納姆輪可朝各個方向全向行駛。平臺上的傳感器實時監(jiān)測周圍環(huán)境，以免發(fā)生碰撞。具有人機協(xié)作能力的 LBR iiwa 安裝在平臺上。機器人的高靈敏度有助于安全無振動地搬運敏感的晶片盒。該應(yīng)用的第三個部件是量身定制的抓手。抓手系統(tǒng)為 KUKA 專利。

軟件控制移動機器人車隊

在用于晶片搬運的凈室應(yīng)用中，硬件和軟件均來自 KUKA。晶片搬運軟件解決方案可無縫整合到半導(dǎo)體制造商的制造執(zhí)行系統(tǒng)中。集成在軟件中的車隊管理器負責(zé)管控運輸任務(wù)，以此確保理想的半導(dǎo)體自動化生產(chǎn)。所有解決方案均由 KUKA 提供并經(jīng)過認證。由此可以大幅縮短調(diào)試時間，從而使該系統(tǒng)成為市場上最為靈活的搬運系統(tǒng)之一。