自律型オールラウンダー：クリーンルーム対応ロボットKMR iisy CRが業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)に

半導(dǎo)體およびエレクトロニクス産業(yè)向けの効率的なオートメーション：KMR iisy CRにより、KUKAは多機(jī)能自律型移動(dòng)ロボット (AMR) を、耐荷重クラス11kgおよび15kgのクリーンルームでのインテリジェントな使用向けモデルとして提供します。クリーンルーム用モデルは、DIN EN ISO 14644-1に準(zhǔn)拠したISOクリーンルームクラス3の要件を満たし、フラウンホーファー研究所の認(rèn)証を受けています。

2025年6月17日

半導(dǎo)體産業(yè)および高感度クリーンルーム対応自律型移動(dòng)ロボット

移動(dòng)型プラットフォームと6軸ロボット LBR iisy CRで構(gòu)成されるKMR iisy CRは、クリーンルームでの作業(yè)に理想的なモバイルマニピュレータです。低微粒子および低エミッション特性を持ち、ESD認(rèn)証を受けています。迅速で簡(jiǎn)単な設(shè)置の後、?ピックアンドプレース作業(yè)、材料搬送または倉(cāng)庫(kù)でのパレタイジング作業(yè)を、半導(dǎo)體製造だけでなく、エレクトロニクス産業(yè)のさまざまな分野で、効率的かつコスト効率よく実施することができます。?

移動(dòng)型プラットフォームに設(shè)置された6軸ロボットLBR iisy CRは、ピックアンドプレース作業(yè)、材料搬送、パレタイジング作業(yè)を効率的に実行します。

認(rèn)証の過(guò)程において、フラウンホーファー研究所はこの自律型移動(dòng)ロボットの靜電気放電性およびアウトガス挙動(dòng)も確認(rèn)しました。そのため、クリーンルームに最適であることは明らかです。ここでは、従來(lái)の材料搬送方法による制限を受けることなく、いくつものステーションをつなぐことが可能です。さらに、さまざまな製品間での素早い切り替えが可能であるため、小ロット生産でも競(jìng)爭(zhēng)力のある価格を?qū)g現(xiàn)できます。

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ハードウェアとソフトウェアの先駆的な連攜

プラットフォームは、実績(jī)のあるAIベースのソフトウェアソリューションKUKA.AMR Fleetをフリート管理に利用していますが、ロボットのアームはiiQKA.OS2で動(dòng)作しています。スケーラブルで柔軟にカスタマイズ可能なこのオペレーティングシステムは、完全なバーチャルロボットコントローラー (Virtual Robot Controller/VRC) を備え、AI対応、サイバーレジリエンスを持ち、さらに新しいISO 10218規(guī)格への準(zhǔn)拠により、將來(lái)のデジタル製造に理想的な裝備となっています。そのため、ハードウェアだけでなく內(nèi)部のソフトウェアもKUKA製であり、両者を直接連攜することが可能です。インテリジェントシステムは、生産現(xiàn)場(chǎng)での高い要求水準(zhǔn)の作業(yè)にも対応できます。

集中フリート管理、柔軟な制御、柔軟に調(diào)整可能なオペレーティングシステム

AMRは、KUKA smartPAD proを使って操作することも、KUKA smartPLUGを使って操作することもできます。smartPLUGの場(chǎng)合、ユーザーはUSBインターフェース経由で自分の操作デバイス (タブレットなど) を接続して操作することが可能です。smartPAD proで制御する場(chǎng)合に実用的：一體型のホルダーから柔軟に取り外すことができるため、オペレータにとって人間工學(xué)的な観點(diǎn)からの利點(diǎn)があり、特に複數(shù)のAMRを保有するフリートでは、すべての機(jī)械に専用の操作端末を用意する必要がないため、コスト削減にもつながります。

製品の主な特徴一覧：

AMRフリート管理ソフトウェア：モバイルプラットフォームはAIベースのフリート管理ソフトウェアKUKA.AMR Fleetを介して制御され、異機(jī)種AMRフリートの集中管理とモニタリングをリアルタイムで行うことができます。
ロボットアーム用の柔軟に調(diào)整可能なオペレーティングシステムiiQKA.OS2：クリーンルーム內(nèi)でも、あらゆるオートメーションの課題に確実に対応する安全なオペレーティングシステムです。
任意に選択可能な操作デバイス：制御はKUKA smartPAD proまたはKUKA smartPLUGで行うことができます。

AMRフリート管理ソフトウェア

異なるモデルを含むAMRフリートをリアルタイムで集中管理および監(jiān)視するAIベースのフリート管理ソフトウェア。?

柔軟なオペレーティングシステムiiQKA.OS2

安全なオペレーティングシステムは、クリーンルームを含むすべてのオートメーション要件を満たします。

KUKA smartPADソリューション

ロボット用の操作デバイスは、プログラミングの知識(shí)がなくても、複雑なタスクを迅速かつ正確に解決する直感的な制御方法を提供します。?

移動(dòng)ロボット導(dǎo)入によるメリット：精密部品の生産に最適な費(fèi)用対効果を?qū)g現(xiàn)

ロボットアームの6つの軸すべてにこのために開(kāi)発されたシールが使用されており、ISOクリーンルームクラス3の基準(zhǔn)に適合するために必要な微粒子低排出を保証します。さらにロボットには、アンモニアや炭化水素ガスの排出を最小限に抑えるための、クリーンルームに適合した素材が使用されています。ロボット全體の導(dǎo)電性はDIN EN 61340規(guī)格への準(zhǔn)拠が保証されているため、ウェハーなどの精密部品が靜電気放電によって損傷することはありません。ロボットは完成後、お客様に配送される前に、クリーンルーム條件下で再度クリーニングされます。クリーンルーム機(jī)器用の特殊梱包により、輸送中の微粒子汚染を確実に防止します。ロボットの表面は、一般的な洗浄剤に対して耐性があります。

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半導(dǎo)體生産の新基準(zhǔn)

柔軟な切り替え機(jī)能により、KMR iisy CRは半導(dǎo)體や電子部品の製造などにおいて、生産數(shù)が多い場(chǎng)合だけでなく少ない場(chǎng)合にも導(dǎo)入する価値があります。クリーンルーム向け移動(dòng)ロボットが活用される用途には、FOUPs (Front Opening Unified Pods)、SMIF PODsまたはオープンカセットの安全な取扱いがあります。オプションとして、この移動(dòng)ロボットは半導(dǎo)體業(yè)界で標(biāo)準(zhǔn)化されているE82およびE84インターフェースに対応しており、既存のマテリアルコントロールシステムへのスムーズな統(tǒng)合が可能です。