全自主多面手:KMR iisy CR 凈室機(jī)器人樹立行業(yè)新標(biāo)桿
面向半導(dǎo)體與電子行業(yè)的高效自動(dòng)化解決方案:KUKA 推出的 KMR iisy CR 是一款多功能自主移動(dòng)機(jī)器人 (AMR),提供 11 公斤和 15 公斤兩種負(fù)載級(jí)別版本,專為凈室智能應(yīng)用而設(shè)計(jì)。該系列凈室專用機(jī)型已通過弗勞恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 認(rèn)證,并符合 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的 ISO 凈室 3 級(jí)要求。
2025年6月17日
面向半導(dǎo)體行業(yè)及高敏感度凈室應(yīng)用的自主移動(dòng)機(jī)器人
KMR iisy CR?由移動(dòng)平臺(tái)和六軸機(jī)器人 LBR iisy CR組成,憑借其低顆粒排放特性及 ESD 認(rèn)證,成為凈室作業(yè)的理想移動(dòng)機(jī)械臂解決方案。該設(shè)備安裝快捷簡(jiǎn)便,可高效低成本地完成倉庫內(nèi)的拾取放置、物料搬運(yùn)及碼垛等作業(yè) – 不僅適用于半導(dǎo)體生產(chǎn),還廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)的其他多種領(lǐng)域。?
在認(rèn)證過程中,弗勞恩霍夫研究所 (Fraunhofer Institut) 還確認(rèn)了該自主移動(dòng)機(jī)器人具備靜電耗散能力和超低釋氣特性。因此證明其完全符合凈室應(yīng)用要求。該機(jī)器人可自由連接任意數(shù)量的工作站,徹底突破了傳統(tǒng)物料運(yùn)輸方案的局限性。此外,它還能快速切換不同產(chǎn)品,使小批量生產(chǎn)同樣具備成本競(jìng)爭(zhēng)力。
前瞻性的軟硬件協(xié)同解決方案
該平臺(tái)采用久經(jīng)驗(yàn)證的、基于人工智能的軟件解決方案 KUKA.AMR Fleet 作為車隊(duì)管理器,而機(jī)器人小臂則運(yùn)行于 iiQKA.OS2 操作系統(tǒng)。這款可擴(kuò)展、靈活適配的操作系統(tǒng)配備完整的虛擬機(jī)器人控制器 (Virtual Robot Controller、VRC),具備人工智能能力與網(wǎng)絡(luò)安全韌性且符合新版 ISO 10218 標(biāo)準(zhǔn)要求,為未來數(shù)字化制造提供了理想的技術(shù)支撐。因此,不僅僅是硬件設(shè)備,其底層軟件同樣源自 KUKA 自主開發(fā),這種“軟硬一體”架構(gòu)確保了系統(tǒng)組件間的完美協(xié)同。這些智能系統(tǒng)能夠協(xié)助完成生產(chǎn)中的高難度作業(yè)任務(wù)。
得益于移動(dòng)機(jī)器人:為精密生產(chǎn)實(shí)現(xiàn)最優(yōu)成本效益比
機(jī)械臂六軸均采用自主研發(fā)的密封件,確保極低顆粒排放,完全符合 ISO 3 級(jí)凈室標(biāo)準(zhǔn)要求。此外,該機(jī)器人采用與凈室相容的材料制成,可將氨或碳?xì)浠衔餁怏w析出量降至最低。該機(jī)器人整體符合 DIN EN 61340 標(biāo)準(zhǔn)的導(dǎo)電性要求,可有效保護(hù)晶圓等敏感部件免受靜電放電損傷。機(jī)器人完成組裝后,將在凈室環(huán)境下進(jìn)行最終清潔處理,隨后交付客戶使用。通過采用凈室設(shè)備專用包裝,可確保運(yùn)輸過程中零顆粒污染。該機(jī)器人的表面材質(zhì)具備耐常規(guī)清潔化學(xué)劑的特性。
為半導(dǎo)體生產(chǎn)樹立新標(biāo)桿
憑借靈活的改裝能力,KMR iisy CR?無論是在大批量生產(chǎn)還是在小批量生產(chǎn)中都能創(chuàng)造顯著效益,尤其適用于半導(dǎo)體與電子元器件的精密制造場(chǎng)景。這款凈室移動(dòng)機(jī)器人的典型應(yīng)用場(chǎng)景包括:安全搬運(yùn) FOUP(Front Opening Unified Pods)、SMIF POD 以及開放式晶圓載具。該移動(dòng)機(jī)器人可選配半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化接口 E82 和 E84,可輕松集成至現(xiàn)有物料控制系統(tǒng)。
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