Autonomer Alleskönner: Reinraum-Roboter KMR iisy CR setzt Maßstäbe

Effektive Automatisierung für die Halbleiter- und Elektronikindustrie: Mit dem KMR iisy CR bietet KUKA einen vielseitigen autonomen mobilen Roboter (AMR) als Variante für für den intelligenten Einsatz im Reinraum in den Traglastklassen 11 und 15 Kilogramm an. Die Modelle für den Cleanroom wurden vom Fraunhofer Institut zertifiziert und erfüllen die Anforderungen der ISO-Reinraumklasse 3 nach DIN EN ISO 14644-1.

17. Juni 2025

Autonomer mobiler Roboter für die Halbleiterindustrie und hochsensible Reinraumanwendungen

Bestehend aus einer mobilen Plattform und dem Sechs-Achs-Roboter LBR iisy CR ist der KMR iisy CR dank partikel- und emissionsarmer Beschaffenheit sowie ESD-Zertifizierung ein optimaler mobiler Manipulator für Arbeiten im Cleanroom. Nach schneller und einfacher Installation setzt er Pick-and-Place-Anwendungen, Materialtransporte oder Palettieraufgaben im Lager effizient und kostengünstig um – in der Halbleiterproduktion, aber auch in verschiedenen anderen Bereichen der Elektronikindustrie.

Der auf einer mobilen Plattform installierte Sechs-Achs-Roboter LBR iisy CR setzt Pick-and-Place-Anwendungen, Materialtransporte oder Palettieraufgaben effizient um.

Im Rahmen der Zertifizierung best?tigte das Fraunhofer Institut auch die elektrostatische Ableitf?higkeit und das Ausgasungsverhalten des autonomen mobilen Roboters. Somit ist er nachweislich geeignet für den Reinraum. Hier verbindet er beliebig viele Stationen ohne die Einschr?nkungen herk?mmlicher Materialtransportl?sungen. Zudem kann er schnell zwischen unterschiedlichen Produkten wechseln, was kleine Chargen zu wettbewerbsf?higen Preisen erm?glicht.

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Zukunftsweisendes Zusammenspiel von Hard- und Software

Während die Plattform auf die bewährte, KI-basierte Softwarelösung KUKA.AMR Fleet als Flottenmanager zurückgreift, läuft der Arm des Roboters auf iiQKA.OS2. Das skalierbare, flexibel anpassbare Betriebssystem mit vollständigem Virtual Robot Controller (VRC) ist KI-fähig , cyber-resilient und durch seine Konformität mit der neuen ISO 10218 Norm ideal gewappnet für die digitale Fertigung der Zukunft. Somit kommen nicht nur die Hardware, sondern auch die Software unter der Haube aus dem Hause KUKA, was eine direkte Abstimmung aufeinander ermöglicht. Die intelligenten Systeme helfen, auch anspruchsvolle Aufgaben in der Produktion zu bewältigen.

Zentrales Flottenmanagement, flexible Steuerung und variables Betriebssystem

Steuern l?sst sich der AMR wahlweise entweder mit dem KUKA smartPAD pro oder dem KUKA smartPLUG, bei dem Anwender via USB-Schnittstelle ihre eigenen Bedienger?te, wie z. B. Tablets, anschlie?en k?nnen. Praktisch bei der Steuerung mit smartPAD pro: Es l?sst sich flexibel aus der integrierten Halterung entnehmen, was für den Bediener ergonomische Vorteile mit sich bringt und insbesondere bei Flotten mit mehreren AMRs Kosten spart, da nicht jede Maschine ein eigenes Bedienger?t ben?tigt.

Die wichtigsten Produktmerkmale auf einen Blick:

AMR Flottenmanagement-Software: Die mobile Plattform wird gesteuert über die KI-basierte Flottenmanagement-Software KUKA.AMR Fleet für die zentrale Verwaltung und überwachung einer heterogenen AMR-Flotte in Echtzeit.
variables Betriebssystem iiQKA.OS2 für den Roboterarm: sicheres Betriebssystem, das alle Herausforderungen der Automation souver?n bew?ltigt – auch im Cleanroom.
frei w?hlbares Bedienger?t: Steuerung kann wahlweise mit dem KUKA SmartPAD pro oder dem KUKA SmartPLUG erfolgen.

AMR Flottenmanagement Software

KI-basierte Flottenmanagement-Software?für die zentrale Verwaltung und überwachung einer heterogenen AMR-Flotte in Echtzeit.?

iiQKA.OS2?flexibles Betriebssystem

Ein sicheres Betriebssystem erfüllt alle Anforderungen der Automatisierung, auch für den Reinraum.

iiQKA.OS for digitalen Fertigung: Betriebssystem als Virtueller Roboter Controller

KUKA smartPAD L?sung

Bedienger?te für Roboter bietet eine intuitive Steuerung, die komplexe Aufgaben schnell und pr?zise l?st – ohne Programmierkenntnisse.?

Dank mobilem Roboter: Optimaler Kosten-Nutzen-Effekt für sensible Produktionen

Eigens entwickelte Dichtungen an allen sechs Achsen des Roboterarms garantieren die geringen Partikelemissionen, die zur Einhaltung der ISO Reinraumklasse 3 vorgeschrieben sind. Darüber hinaus besteht der Roboter aus reinraumtauglichen Materialien, um Ausgasungen von Ammoniak oder Kohlenwasserstoffgasen auf ein Minimum zu reduzieren. Die Ableitfähigkeit des gesamten Roboters ist nach DIN EN 61340 gewährleistet, sodass empfindliche Bauteile – z. B. Wafer – nicht durch elektrostatische Entladung beschädigt werden. Nach Fertigstellung wird der Roboter nochmals unter Reinraumbedingungen gereinigt, bevor er seinen Weg zum Kunden antritt. Mithilfe einer speziellen Verpackung für Reinraummaschinen wird sichergestellt, dass während des Transports keine Partikelkontamination erfolgt. Die Oberflächen des Roboters sind widerstandsfähig gegenüber gängigen Reinigungschemikalien.

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Neue Maßstäbe für die Halbleiterproduktion

Durch flexible Umrüstm?glichkeiten lohnt sich der Einsatz des KMR iisy CR sowohl bei hohen wie bei geringen Stückzahlen, zum Beispiel bei der Herstellung von Halbleitern und Elektronikkomponenten. Einige der Applikationen, bei denen der mobile Reinraumroboter eingesetzt wird, sind die sichere Handhabung von FOUPs (Front Opening Unified Pods), SMIF PODs oder offenen Kassetten. Optional ist der mobile Roboter mit den für die Halbleiterindustrie standardisierten Schnittstellen E82 und E84 lieferbar, die eine unkomplizierte Integration in ein bestehendes Material Control System erm?glichen.