KUKA utvecklar mobila robotar för halvledarproduktion

Sm?, smarta datorchips, s? kallade halvledare, finns numera ?verallt i v?r vardag: i smarttelefoner, surfplattor och ?ven i bilar. S?rskilt f?r fordonsindustrins megatrender ?r denna komponent av central betydelse. Vid halvledartillverkning bearbetas det kemiska grund?mnet kisel i form av kiselplattor. Kiselplattorna f?rvaras i speciella plastkassetter under renrumsf?rh?llanden och bearbetas i en l?ng rad olika processteg. Eftersom efterfr?gan p? halvledare kommer att forts?tta stiga ?nskar producenterna automatisera sina tillverkningsprocesser ytterligare.

De n?dv?ndiga f?rflyttningarna utf?rs av v?r mobila plattform KMR 200 CR. Plattformen ?r utrustad med Mecanum-hjul som m?jligg?r omniriktad k?rning i alla riktningar. Sensorer runt plattformen l?ser av omgivningen i realtid och ser till att kollisioner undviks. Monterad p? plattformen sitter LBR iiwa – v?r robot anpassad f?r samarbete mellan m?nniska och robot. Denna avk?nnande robot hanterar de k?nsliga kassetterna inneh?llande kiselplattor p? ett s?kert s?tt utan skakningar eller vibrationer. Den tredje komponenten i applikationen ?r det skr?ddarsydda gripdonet. Gripsystemet ?r patenterat av KUKA.

?

I den h?r renrumsapplikationen f?r hantering av kiselplattor kommer b?de h?rdvara och programvara fr?n KUKA. Wafer Handling-programvarul?sningen ?r enkel att integrera i halvledarproducenternas Manufacturing Execution System. I programvaran finns ett inbyggt hanteringssystem f?r fordonsflottan som styr transportjobben och optimerar den automatiserade halvledarproduktionen. Alla l?sningar ?r certifierade och levereras fr?n en och samma leverant?r. Detta resulterar i extremt korta idrifttagningstider, vilket g?r systemet till det mest flexibla hanteringssystemet p? marknaden.